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ASML新一代EUV光刻机:公共汽车大小 造价1.5亿美元
荷兰ASML的新一代极紫外(EUV)光刻机有公共汽车大小,造价1.5亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里,工程师们已经开始为一台机器制造关键部件,这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上10年时间。
2021-09-02
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