光学平台，数量：2个，主要技术参数为：（1）无磁光学平台面板尺寸：1500mm*2400mm*305mm，带M6的标准固定孔；（2）四个无磁气浮支撑腿：高495mm（19.5英寸）；（3）台面板内部真蜂窝状结构设计，沿蜂窝芯高度方向垂直黏合三芯接面；（4）自平衡时间：优于1.5S；5.共振频率：垂直1Hz，水平1.5Hz；（6）重复水平精度±0.25mm；（7）安装孔密封；（8）侧板：高阻尼侧板；（9）金属材料：无磁316不锈钢；（10）低噪声220V空压机：长*宽*高≤35cm*28cm*34cm；重量≤18kg；流速~0.1m³/h；最大空气压力：8个大气压；储罐容量~3.5L；工作声音（距离30cm处）≤30db。