近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在极紫外光刻基板缺陷补偿方面取得进展。

近期，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心光物理实验室L02组博士生肖珊、研究员许秀来和L03组研究员金奎娟与纳米物理与器件实验室N09组研究员张建军、副研究员王霆等合作，在手性光子器件研究中取得进展。