三维调整工作台衡工HGAM305多自由度组合移动台

Z轴升降导轨为交叉滚柱配合V型钢导轨，精度更高，承载较大，寿命长，XY轴中央直驱，采用弹簧复位，消除轴向间隙；台面和底座分布标准孔距安装孔，方便安装和组合。

随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大

阻尼光学平台或面包板最重要的特性为其共振频率。共振频率和振幅是负相关的，因此共振频率应尽可能地增大，从而将振动强度最小化。平台和面包板会在一个特定的频率范围内发生振动。为了改善性能，每种尺寸的平台和面包板的阻尼效果都需要进行优化。平台阻尼需要进行各种测试，对其厚度/面积的比值进行优化。更大面积的平台（边长至少为10英尺或3米）具有厚度为1