213nm脉冲紫外纳秒激光器

213nm脉冲紫外纳秒系列平均功率可达500mW，能量可达100uJ，重频可达5kHz，脉宽＜1.5ns，用在半导体检测、光致发光、生物医学、工业加工、代替氩离子倍频 激光器等领域。