HG-EM激光椭偏仪是针对光伏太阳能电池高端研发和质量控制领域推出的极致型多入射角激光椭偏仪。可广泛应用于晶体硅太阳电池、薄膜太阳电池等。
HG-EM激光椭偏仪用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电池表面减反膜镀层的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜层厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系数k。
典型纳米膜层包括SiNx，ITO，TiO2，SiO2，Al 2O3，HfO2等。应用领域包括半导体、微电子、平板显示等。HG-EM激光椭偏仪融合多项技术，采用一体化样品台技术，兼容测量单晶和多晶太阳电池样品，并实现二者的轻松转换。一键式多线程操作软件，使得仪器操作简单安全。
特点：
★ 粗糙绒面纳米薄膜的高灵敏测量
★ 原子层量级的极高灵敏度和准确度
★ 百毫秒量级的快速测量
★ 简单方便安全的仪器操作
★ 一键式操作
技术指标：
