精密光学平台 自水平隔震光学平台 自动充气平衡平台M6X25螺纹孔

·平面不大于0.05mm/m

·表面粗糙度小于0.8um

·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

·振幅不大于1.2um 

·重复定位精度±0.05mm

衡工隔振平台选型参数表